沈阳芯源：IC装备产业的先锋

  人均超一项专利，十余年间迅速成长为国内集成电路（IC）装备领域的一流企业。沈阳芯源微电子设备有限公司（以下简称沈阳芯源）走出了一条以自主创新为驱动的发展之路。

  2002年12月，中国科学院沈阳自动化研究所（以下简称沈阳自动化所）配合沈阳市浑南区的产业园区规划，发起创建了沈阳芯源。成立之初，国内的IC装备行业并不成熟，缺少产业供应链和客户，沈阳芯源成为辽沈地区IC装备产业的先锋之一。

  回忆最初的历程，沈阳芯源总经理宗润福感慨道：“先锋往往也代表着风险，但我们只做先锋，避免风险。是献身、求实、协作、创新的沈阳自动化所精神和科研人员敬业攻关的韧劲，让公司挺过最初的艰难，一步步实现今天的业绩。”

  创新是沈阳自动化所精神中的重要一环，而立足自主创新、踏实做好产品则是沈阳芯源谋求发展的出路。

  宗润福告诉《中国科学报》记者：“沈阳芯源尤为重视创新研发，将创新的种子播撒在每名员工的心中。”沈阳芯源现有员工210人，专利270余项，自主研制的主流产品匀胶显影设备大范围的应用于发光二极管（LED）、高端封装等领域，在国内占有率均超过了40%，成为国内第一大供应商。“这样的成绩源于对科技研发的投入和自主创新的良好氛围。”

  作为一家从沈阳自动化所孵化的企业，科学技术创新、攻关克难是沈阳芯源的原始基因。企业成立初期，IC装备行业一直是国外企业的天下，昂贵的价格给国内公司能够带来负担。

  “沈阳芯源攻克一个个技术难关，在整机提升的同时，专注于核心部件的国产化，降低了产品的造价与服务成本。”宗润福说，“设备的国产化不仅提高了沈阳芯源的竞争力，也降低了客户的成本，来提升了客户乃至行业的竞争力，实际上带动了产业的加工能力，发挥了示范性作用。”

  如今，我国的IC装备产业形成北京、上海、沈阳三足鼎立的态势，其中，沈阳的IC装备产业高质量发展，就得益于像沈阳芯源这样自主创新的先锋企业。

  回顾发展历史，宗润福指出，沈阳芯源利用自身优势，把握住两次机遇，成功跻身国内IC装备领域前列。他说：“由于是沈阳自动化所参股控股企业，沈阳芯源社会形象好、技术起点高，与地方政府也有着天然的信任基础，合作开展顺利，这些为公司把握住机遇奠定了基础。”

  2009年，LED市场呈爆发态势。由于LED产品技术门槛低、投资少，沈阳芯源抓住机遇切入到这一领域。2010年至2011年，沈阳芯源快速成长，年销售额达到5000万元，由此成为了一家健康发展的企业。

  除此之外，在沈阳自动化所的推动下，沈阳芯源参与到国家重大科学技术专项，使公司步入了新的发展阶段。2008年，沈阳芯源和几家中科院参股企业联合申报国家重大科学技术专项，并于2008年12月开始承担国家重大科学技术专项“凸点封装涂胶显影、单片湿法刻蚀设备的开发与产业化”，获拨经费3700万元。2012年3月，沈阳芯源申报的国家重大科学技术专项“300mm晶圆匀胶显影设备研发”获得立项批复，获经费支持8700万元。

  “国家重大科学技术专项的支持，让公司抢占了这个朝阳行业的先机，更好地投入到科研、实验室建设、国际合作等方面。通过成果产业化，一些包括高端封装领域在内的新产品走向了市场，公司发展形成了正向循环。” 宗润福由衷地感谢沈阳自动化所。

  2013年，芯源销售额突破1亿元，2014年达1.6亿元，预计2016年将达2亿元。一家规模不大的公司能有这样的业绩，与公司崇尚合作共赢，形成乘法效应密不可分。宗润福表示：“我们不仅要做加法还要做乘法。”

  所企互动为公司早期的起步立下汗马功劳。沈阳芯源与沈阳自动化所及其持股公司新松机器人自动化股份有限公司、沈阳中科博微自动化技术有限公司等单位开展广泛合作，缩短研制周期。在拓展海外市场上，沈阳芯源也发挥着善于做乘法的精神。在台湾，沈阳芯源以让利共赢的精神与代理商合作，打开了市场。

  做乘法也体现在“一次开发，多次应用”上，这个观点是曾任沈阳自动化所所长的蒋新松院士在30年前提出的。沈阳芯源继承了这一传统，深耕产品的质量，规范化的产品为多次应用与业务拓展奠定了基础。

  2016年9月，沈阳芯源设计生产的第500台设备出厂，成为在国内新兴半导体制造设备厂家中首个迈过500台设备出厂门槛的企业，创造了一个新的发展里程碑。